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本申请公开了一种用于碳化硅晶体的退火载具，属于半导体材料制备技术领域。该用于碳化硅晶体的退火载具，包括：第一罩盖，所述第一罩盖包括第一盖板；第二罩盖，所述第二罩盖包括第二盖板，所述第二盖板设置在所述第一盖板的下方，所述第一盖板和第二盖板的边...
该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。

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