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一种半导体装置的制造方法,可实现高可靠性的半导体芯片的电极和衬底的电连接。在衬底2上未形成第一电极3的区域涂敷密封树脂4。准备端部形成有第二电极7的半导体芯片6,使该半导体芯片6的表面与衬底2的表面相对配置,自其背面使第一可动板8a向下动,...该专利属于三洋电机株式会社;罗姆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社;罗姆股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体装置的制造方法,可实现高可靠性的半导体芯片的电极和衬底的电连接。在衬底2上未形成第一电极3的区域涂敷密封树脂4。准备端部形成有第二电极7的半导体芯片6,使该半导体芯片6的表面与衬底2的表面相对配置,自其背面使第一可动板8a向下动,...