温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在用于清洁工件或晶片的系统中，在该工件表面形成一被加热液体的边界层。臭氧被提供到该工件周围。该臭氧在所述边界层中扩散并与该工件表面的污染物发生化学反应。一般高速的被加热液体喷流被引向所述工件，以物理方式上从所述工件驱逐或去除污染物。该喷流在...
该专利属于塞米特公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞米特公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。