下载脆性材料基板的划线方法及划线装置的技术资料

文档序号:3206893

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本发明提供一种脆性材料基板的划线方法及其装置。将从激光振荡装置(34)发射的激光束,沿着在母玻璃基板(50)表面所设置的划痕预定线进行照射。由此,在母玻璃基板(50)上形成激光光斑。并向靠近激光光斑处从冷却喷嘴(37)喷射冷却液。激光光斑只...
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