下载一种源漏下陷型超薄体SOIMOS晶体管及其制作方法的技术资料

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一种源漏下陷型超薄体SOI  MOS晶体管,包括一栅电极,一栅介质层,一对栅电极侧墙介质层,一沟道区,一源区和一漏区;所述栅电极位于栅介质层之上;所述栅介质位于沟道层之上;所述沟道区两端分别与所述源区和漏区相连;所述晶体管位于绝缘衬底上; ...
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