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半导体晶片中凸点的形成方法及其形成设备技术
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文档序号:3206865
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本发明提供一种在半导体晶片上形成凸点的方法及其设备,与传统技术相比,当在半导体晶片上形成凸点时,其生产效率得到提高。本发明中的设备提供凸点形成头(190)、识别部件(150)和控制部件(180)。在半导体晶片上形成的ICs被划分为基本方块(...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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