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探针装置以及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3206779
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一种探针装置,包括:柔性基底,其由无机物质制成,并且具有近乎平直的边缘;导电薄膜,其形成于所述基底的表面上,并且具有多个接触部分和导线部分,所述接触部分排列在所述边缘的表面上,并且可以与样品上的电极发生接触,所述导线部分与所述接触部分连接,...
该专利属于山一电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过山一电机株式会社授权不得商用。
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