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硼化镁超导薄膜的双加热器原位化学气相沉积一步法工艺制造技术
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文档序号:3206742
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本发明是一种超导薄膜的制备方法,利用双加热器化学气相沉积一步法工艺制备大面积硼化镁超导薄膜。将基片和镁粒置于双加热器上,双加热器置于化学气相沉积室内,进行原位化学气相沉积,形成的硼化镁超导薄膜转变温度(零电阻温度)在25K~39K之间,可将...
该专利属于贵州大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州大学授权不得商用。
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