下载强电介质膜、电容器及它们的制造方法及强电介质存储器的技术资料

文档序号:3206730

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本发明提供一种具有良好特性的强电介质膜的制造方法和利用该制造方法来获得的强电介质膜。本发明的强电介质膜的制造方法是将含有复合氧化物的原材料体进行结晶化的工序包括在内的强电介质膜的制造方法;包括:(a)在所定压力和温度的第一状态中,进行热处理...
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