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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3206728
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本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,能够用较少的工序形成MIM型电容元件,同时提供一种具有电阻值的偏差或者寄生电阻较少的电阻体。半导体器件,包括:在形成在衬底上的绝缘膜2上按从下往上的顺序叠层起来的阻挡金属膜6及由AlCu膜8及TiN膜...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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