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半导体晶片制造技术
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文档序号:3206569
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本发明是一种半导体晶片,其特征为:该半导体晶片的外周部形状是在晶片表面弯曲成凸起(翘起),并且在晶片背面弯曲成悬垂(下垂)。由此,提供在器件制造工程中,即使光刻工程的曝光装置的晶片夹具形状具有偏差,也能够以高良品率在晶片上形成器件图形,并且...
该专利属于信越半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越半导体株式会社授权不得商用。
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