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由碳纳米管构成沟道的场效应晶体管制造技术
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下载由碳纳米管构成沟道的场效应晶体管的技术资料
文档序号:3206493
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一种场效应晶体管,它包括排列在衬底上的沟道、连接到沟道起始端的源电极、连接到沟道终止端的漏电极、排列在沟道顶部或侧面上的绝缘体、以及经由绝缘体而排列在沟道顶部或侧面上的栅电极,其中,沟道由多个碳纳米管组成。...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。
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