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提供一种用于在掩模层上识别虚拟／主要特征的自动化技术。在多掩模层技术中，虚拟／主要特征的定义可以根据连通性信息或功能性联合信息。在几何结构技术中，虚拟／主要特征的定义可以根据特征尺寸、特征形状、特征图案或者一个特征对邻近特征的接近性。在一个...
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