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一种微细加工方法，所述微细加工方法包括在有助蚀剂情况下用带电粒子束蚀刻衬底，所述衬底具有叠加在介质层之上的铜。助蚀剂选自氨、乙酸、硫羟乙酸及它们组合。...
该专利属于恩普泰斯特有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩普泰斯特有限责任公司授权不得商用。

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