一种微细加工方法，所述微细加工方法包括在有助蚀剂情况下用带电粒子束蚀刻衬底，所述衬底具有叠加在介质层之上的铜。助蚀剂选自氨、乙酸、硫羟乙酸及它们组合。

一种探测电压的方法，包括：在被测导体和光电导开关的第一接线端之间建立电气连接；在采样间隔ｎ内，施加激光脉冲到光电导开关，而相应于在前一采样间隔ｎ－１的电压样本，施加电压到光电导开关的第二接线端输入，这样流经光电导开关的电流依赖于导体上的...