下载光干涉式显示单元的制造方法的技术资料

文档序号:3206430

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一种光干涉式显示面板的制造方法,依序形成第一电极与牺牲层于基材上,再在电极与牺牲层中形成开口。接着,在牺牲层上旋涂一第一光阻层并填满开口。以第一微影制造工序图案化第一光阻层而定义出支撑物及支撑物的支撑臂的长短。接着,旋涂至少一第二光阻层于第...
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