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本发明公开了利用激光束和掩模在抛光垫上形成微孔，通孔和／或沟槽的方法。该方法包括以下步骤：确定要在抛光垫上形成的微孔，沟槽和／或通孔的图案；将确定的图案输入计算机数字控制器（ＣＮＣ）；选择具有与输入图案相适应微孔，沟槽和／或通孔图案的掩模；...
该专利属于株式会社SKC所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社SKC授权不得商用。

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