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本发明的目的是提供一种基板保持用具、基板处理装置、基板检查装置以及它们的使用方法，能够在维持基板自身具有的平坦度的状态下保持所述基板，可以精密地进行测定、处理、检查等。本发明是一种将基板稳定地保持在平板面上的基板保持用具，具有：流体层形成单...
该专利属于HOYA株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过HOYA株式会社授权不得商用。

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