下载压电体元件及其制造方法的技术资料

文档序号:3206266

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本发明涉及由第1电极膜、第2电极膜、第1电极膜及第2电极膜所夹的压电体薄膜构成的压电体元件,特征是上述压电体薄膜为氧化物压电体薄膜,其相对化学计量组成上具有0%以上至10%或10%以下的氧缺损量。与处于化学计量组成的氧化状态的氧化物压电体薄...
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