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本发明涉及到一种用来在对辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置。此装置包含辐射源和具有多个调制元件／象素的空间调制器。它还包含将驱动信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来移动所述工件的精密机械系统、以及对...
该专利属于微激光系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过微激光系统公司授权不得商用。

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