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修整工具、修整装置、修整方法、加工装置以及半导体器件制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3206175
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一种修整装置DA,由垫保持机构(10)、修整工具(2)和修整工具保持机构(1)构成,其中该垫保持机构(10)保持具有环盘形垫表面(15a)的磨光垫(15)并使得该磨光垫(15)旋转,修整工具(2)具有大致矩形的修整表面(3),修整工具保持机...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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