下载修整工具、修整装置、修整方法、加工装置以及半导体器件制造方法的技术资料

文档序号:3206175

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一种修整装置DA,由垫保持机构(10)、修整工具(2)和修整工具保持机构(1)构成,其中该垫保持机构(10)保持具有环盘形垫表面(15a)的磨光垫(15)并使得该磨光垫(15)旋转,修整工具(2)具有大致矩形的修整表面(3),修整工具保持机...
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