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形成具有凹槽的焊盘的方法技术
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下载形成具有凹槽的焊盘的方法的技术资料
文档序号:3206167
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一种焊盘(100),通过首先在一个焊盘区域中提供铜(18)与氧化硅功能部件(14)的平整化组合而形成。氧化硅功能部件(14)经过蚀刻处理,来在焊盘区域上的铜中形成多个凹槽(15)。在所述铜上和所述凹槽中的氧化硅功能部件上形成一个腐蚀阻隔层(...
该专利属于自由度半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过自由度半导体公司授权不得商用。
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