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本发明的目的，在于：精确地测量出加热中的物体温度，并在正确的温度下对物体进行热处理。在衬底１０的热处理工序中，在测量衬底１０背面的辐射率ε时，衬底１０表面上形成有由能使辐射率ε改变的材料制成的膜，例如成为插塞１５Ａ的第一ＤＰＳ膜１５、成为电...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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