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本实用新型涉及一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置。包括晶圆盘；第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述晶圆盘转动；第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述晶圆盘摆动。本方案中，晶圆在清洗过程中，晶圆盘在第一驱动组件和第二驱动组件的作用下，可以...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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