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一种半导体集成电路器件，包括：（ａ）形成在半导体衬底中的沟槽，以及（ｂ）埋置在所述沟槽内的第一绝缘膜；其中，所述沟槽具有倾斜的表面，所述倾斜的表面和所述半导体衬底（１）的表面之间的第一边界部分是圆形的，以及所述倾斜的表面和所述沟槽的侧壁之间...
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