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本发明涉及一种一体化脊柱构件，ＥＦＥＭ组件例如晶片操纵机械手和ＳＭＩＦ箱推进部件可安装在该一体化脊柱构件上。机架包括多根安装在上支撑件和下支撑件上的直立支柱。使垂直支柱与两支撑件结构连接，从而生成一种支撑ＥＦＥＭ组件的刚性体。该直立支柱还为...
该专利属于阿赛斯特技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿赛斯特技术公司授权不得商用。

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