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本发明涉及一种基板分离设备（１，２），所述基板由两个相邻且彼此之间形成一分裂面的部分组成。本发明设备的特征在于包括：将多个平行的沿基板存储方向放置的基板提供给分离装置的装置；将基板的两部分分离的装置（１２１，２２１ａ，２２１ｂ，２２２ａ，２...
该专利属于硅绝缘技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅绝缘技术公司授权不得商用。

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