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本发明公开了属于ＭＥＭＳ微驱动器器件范围的一种包括应用于微位移器和计算机硬盘读写磁头驱动臂的多层压电复合膜结构的压电驱动器件。采用常规的ＭＥＭＳ压电驱动器件制备方法在硅衬底上由下向上依次为硅衬底、热氧化二氧化硅层、金属钛粘附层、底电极金属铂...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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