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本发明为一种强流氧离子注入机的晶片自转动装置，包括正面有多个晶片放置位置的靶盘７，所述靶盘７的各晶片放置位置的中心部位有安装了滚珠轴承２、８的贯通轴孔９，对应于晶片放置位置的靶盘１的后部装有微型电动机１且其电动机转轴６装在所述贯通轴孔９的相...该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所;北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所;北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。