下载一种刻蚀机腔体排风结构的技术资料

文档序号:32058163

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用型发明公开了一种刻蚀机腔体排风结构,包括腔体,设置在腔体内的可上下移动的工作台,所述腔体的底部位于工作台的外侧设置有一组相互独立的排风口,所述排风口上设置有盖板;排风口的下方连接设置有排风管道。可根据各处风压的差异调整对应位置处排风口...
该专利属于黄山博蓝特半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过黄山博蓝特半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。