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环栅垂直SiGeCMOS器件制造技术
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文档序号:3205773
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本发明提供了一种新型环栅垂直SiGeC MOS器件,它包括:栅氧化层3、多晶硅栅层4、栅极5、源极6、漏极7以及电极引线8和SiO↓[2]隔离区9;其特征是它还包括:生长在n-Si衬底上的p↑[+]-Si↓[1-α-β]Ge↓[α]C↓[...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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