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一种形成叠合标记的方法，其特征在于，包括：　　　　在一基底上形成一材料层；　　　　图案化该材料层，以形成一外部标记，并且同时形成一分散应力图案，该分散应力图案将该外部标记包围起来；　　　　在该材料层表面形成一第一膜层；　　　　进行一平坦化步...
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