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金属层的改质方法技术
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文档序号:3205704
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一种金属层的改质方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供一半导体基底; 形成一第一金属阻障层于所述基底表面; 形成一金属层于所述第一金属阻障层表面; 形成一第二金属阻障层于所述金属层表面;以及 实施一热处理程序。...
该专利属于矽统科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽统科技股份有限公司授权不得商用。
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