下载金属层的改质方法的技术资料

文档序号:3205704

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一种金属层的改质方法,其特征在于,包括以下步骤:    提供一半导体基底;    形成一第一金属阻障层于所述基底表面;    形成一金属层于所述第一金属阻障层表面;    形成一第二金属阻障层于所述金属层表面;以及    实施一热处理程序。...
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