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一种非损坏的检查装置（或方法）被构成使激光束（１３００纳米）（３，５３）辐照在半导体器件芯片的表面（或背面）以扫描。由于激光束的辐照一缺陷位置被加热产生感生磁场的热电动势电流。磁场检测器（５）如ＳＱＵＩＤ（５５）检测磁场强度，据此产生扫描电...
该专利属于恩益禧电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩益禧电子股份有限公司授权不得商用。

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