温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及硬盘用微致动器中的多层膜压电元件及其制备方法，属于微机电技术领域。该致动器的多层膜压电元件由流延法或丝网印刷工艺等制作压电陶瓷膜，采用丝网印刷工艺等制作中间电极层。采用Ａｇ／Ｐｄ电极和ＰＭＮ－ＰＺＴ材料，实现了低温共烧（从＞１３０...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。