下载半导体芯片背面共晶焊粘贴方法的技术资料

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半导体芯片背面共晶焊粘贴方法属于半导体器件制造工艺技术领域。在现有技术中,蒸镀在芯片硅衬底背面的金属层要么为金系结构,要么为银系结构,材料成本较高;该金属层常常采用四层结构,在有些方案中,其中的某层或者某几层还采用混合层或者合金层,这些都在...
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