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传送机构及其湿式处理设备制造技术
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文档序号:3205541
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一种传送机构,适于传送至少一矩形基板沿着一传送路径移动,其特征在于该传送机构包括: 复数个第一转轴; 复数个第一滚轮,该些第一滚轮分别配置设置于该些第一转轴上,且沿着该传送路径排列,每一该些第一滚轮设有一滚轮面并与该矩形基板的底...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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