温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种制造叠层结构的方法，其能够通过防止侧面蚀刻构图成所需形状。将由ＩＴＯ等制成的粘接层、由银或含银合金制成的反射层、由ＩＴＯ等制成的阻挡层依次层叠在基材上，其间具有作为基底层的平面化层，之后，在阻挡层上形成掩模，并利用该掩模同时蚀...
该专利属于索尼株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过索尼株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。