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复合低介电常数的介电结构制造技术
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文档序号:3205349
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一种用于形成一复合金属间介电结构的方法系加以提供。一起始金属间介电结构系加以提供,且其系包含一第一介电层以及二导线,而该二导线乃位于该第一介电层之中,接着,该第一介电层在该二导线间的部分系加以移除,以形成一沟渠,而该沟渠则被一第二介电材质所...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。
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