下载制备场效应晶体管横向沟道的方法及场效应晶体管的技术资料

文档序号:3205340

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描述了场效应晶体管的应变的横向沟道、场效应晶体管以及CMOS电路的结构及形成方法,包含在单晶半导体衬底上形成的漏、本体和源区,其中在晶体管的源和本体之间形成异质结,其中源区和沟道相对于本体区独立地产生晶格应变。本发明减少了经由异质结来自源区...
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