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一种形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法，该方法至少包括：　　　　形成一多晶硅层于该衬底上；　　　　形成一栅极氧化层于该多晶硅层上；　　　　图案化该栅极氧化层与该多晶硅层，其利用光刻与蚀刻工艺完成；　　　　形成一栅极于该栅极氧化层之上；以及　　　...
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