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具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器制造技术
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下载具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器的技术资料
文档序号:3205168
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一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器,其特征在于,该容器包括: 一个用于贮该晶圆元件堆的晶圆贮存室,该晶圆贮存室包括一个底部,在该底部上有一个放置晶圆元件堆的晶圆区域;以及 若干分布于晶圆贮存室内的柱状物,每一柱状物上都有一表面,该...
该专利属于皮克塑料和金属产品国际有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皮克塑料和金属产品国际有限公司授权不得商用。
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