【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种晶圆贮存容器，尤其涉及一种具有一个以一拔模角形成的保护壁，以注模方式而形成的贮存容器，且晶圆定位柱定向时无拔模角。本专利技术申请与标题为“具有定向控制的晶圆运送装置”的中国专利技术于同日申请，因此，援引该申请以作为参考。
技术介绍
晶圆贮存容器和装运容器通常是注模而成，且晶圆的四周有起保护作用的壁。图1为一个通过注模而成的容器10的示意图。利用标准注模法作业，该容器中容器壁14的内表面12必须具有所谓的拔模角，比如从该容器的底平面20开始的一条垂直线18，与相切于该容器中内表面12的壁14的一条直线22之间形成的角度16。该结构使容器底平面20的内直径小于其在顶部的直径26，这样就可使容器从形成它的模中移走。外壁表面也有必要具有拔模角。图2为图1中容器的横剖面视图，其更加清楚地显示了内壁表面的拔模角16，以及外壁表面的拔模角17，并在容器10用于运送一组晶圆28时，用于举例说明注模构造所具有的问题。为了便于图解说明，很显然在图1和图2中对拔模角进行了放大。拔模角所引起的问题是，随着该组高度的不断增加，它使晶圆和壁之间的间距30逐渐增大，为此允...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于，该容器包括一个用于贮该晶圆元件堆的晶圆贮存室，该晶圆贮存室包括一个底部，在该底部上有一个放置晶圆元件堆的晶圆区域；以及若干分布于晶圆贮存室内的柱状物，每一柱状物上都有一表面，该表面上有一同等地限制该晶圆贮存室中每一晶圆元件侧向运动的接触线。2.根据权利要求1所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其中每一条接触线的方向都与该晶圆区域的一个平面垂直。3.根据权利要求2所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其中该晶圆贮存室包括一从该底部开始延伸的壁，其中该壁具有一拔模角，以便于从注模中移走该晶圆贮存室。4.根据权利要求3所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其中每一柱状物与该壁以整体的形式形成。5.根据权利要求3所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其进一步包括一个与该壁相匹配的盖，用于完全密封晶圆元件堆。6.根据权利要求1所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其中该若干柱状物的数量在3个到6个之间。7.根据权利要求6所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其中每一接触线的方向与该晶圆区域的一个平面垂直。8.根据权利要求7所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于，该晶圆贮存室包括一面从该底部开始延伸的壁，其中该壁具有一拔模角，以便于从一注模中移走该晶圆贮存室。9.根据权利要求8所述的具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其中每一柱状物与该壁以整体的形式形成。10.一种贮存一晶圆堆的贮存容器装置，其特征在于，该装置包括一个晶圆贮存室；至少一个设置在该晶圆贮存室内部的定向用制造物；若干在一晶圆堆中的、适合于插入至该晶圆贮存室中的晶圆框架，每一晶圆框架在其上至少包括一个对准用制造物，并且每一晶圆框架被用于帮助在其上一个预先确定的位置处固定其中的一个晶圆，其中至少一对准用制造物对应于至少一定向用制造物，由此定向在该晶圆贮存室中的每一晶圆框架，并防止该每一晶圆框架在该贮存室内部实际的旋转运动；以及若干设置在该晶圆贮存室内部的柱状物，每一柱状物具有一表面...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉姆·皮伦，斯科特·布拉德利，
申请(专利权)人：皮克塑料和金属产品国际有限公司，
类型：发明
国别省市：
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