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提供一种能将固体有机金属化合物用一定的浓度长期稳定地供给ＭＯＣＶＤ装置等的气相外延成长用装置的新型填充容器。在具有载体气体导入口（２）和载体气体排出口（３）的固体有机金属化合物用填充容器中，其特征在于有这样的结构，即填充容器内部被分隔为多个...
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