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本实用新型涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质...
该专利属于和舰芯片制造（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和舰芯片制造（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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