一种用于监测机台的FEM运行状况的系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质量分析磁体的一端，质量分析磁体的另一端连接至加速筒的一端，加速筒的另一端连接至FEM的一端，FEM的另一端与处理室连通，处理室的外侧设置有操作者界面，处理室连接至晶圆盒，计算装置与FEM通信并且被配置为监测FEM的运行状况。通过本实用新型专利技术的系统，可以对在机台运行时的FEM的运行状况进行实时监测，并且在FEM出现偏差或宕机的情形下提前进行预警。形下提前进行预警。形下提前进行预警。

【技术实现步骤摘要】
一种用于监测机台的FEM运行状况的系统


[0001]本技术涉及监测系统，并且更具体地，涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统。

技术介绍

[0002]机台测机以量测植入控片阻值方式，不能实时反应机台状况，若遇到状况依靠机台自身的报警规则会停止作业，然而，有遇到过FEM(最终能量磁体)中部分线圈宕机的情形，也就是一部分能源提供给装置而无法正常工作，由于机台自身机制在完全宕机的状况下才会进行警报，所以这种只能等待机台发出警报的做法非常被动，因此需要一种能够在FEM出现偏差时就可以提前预警的系统。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种令人期望的用于监测机台的FEM运行状况的系统。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术的方面，提供一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，其特征在于，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中所述源与所述轴引出电极的一侧连通，所述气体箱从所述轴引出电极的上端吹入气体，所述轴引出电极的另一侧连接至所述质量分析磁体的一端，所述质量分析磁体的另一端连接至所述加速筒的一端，所述加速筒的另一端连接至所述FEM的一端，所述FEM的另一端与所述处理室连通，所述处理室的外侧设置有所述操作者界面，所述处理室连接至所述晶圆盒，所述计算装置与所述FEM通信并且被配置为监测所述FEM的运行状况。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述轴引出电极是三轴引出电极。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述FEM呈现圆弧状。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述FEM包括设置在所述FEM内的第一线圈、第二线圈和霍尔元件，其中所述第一线圈和所述第二线圈上下平行布置，所述霍尔元件探测由所述第一线圈和所述第二线圈提供的磁场强度。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴敏强，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：