一种用于监测机台的FEM运行状况的系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质量分析磁体的一端，质量分析磁体的另一端连接至加速筒的一端，加速筒的另一端连接至FEM的一端，FEM的另一端与处理室连通，处理室的外侧设置有操作者界面，处理室连接至晶圆盒，计算装置与FEM通信并且被配置为监测FEM的运行状况。通过本实用新型专利技术的系统，可以对在机台运行时的FEM的运行状况进行实时监测，并且在FEM出现偏差或宕机的情形下提前进行预警。形下提前进行预警。形下提前进行预警。

【技术实现步骤摘要】
一种用于监测机台的FEM运行状况的系统


[0001]本技术涉及监测系统，并且更具体地，涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统。

技术介绍

[0002]机台测机以量测植入控片阻值方式，不能实时反应机台状况，若遇到状况依靠机台自身的报警规则会停止作业，然而，有遇到过FEM(最终能量磁体)中部分线圈宕机的情形，也就是一部分能源提供给装置而无法正常工作，由于机台自身机制在完全宕机的状况下才会进行警报，所以这种只能等待机台发出警报的做法非常被动，因此需要一种能够在FEM出现偏差时就可以提前预警的系统。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种令人期望的用于监测机台的FEM运行状况的系统。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术的方面，提供一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质量分析磁体的一端，质量分析磁体的另一端连接至加速筒的一端，加速筒的另一端连接至FEM的一端，FEM的另一端与处理室连通，处理室的外侧设置有操作者界面，处理室连接至晶圆盒，计算装置与FEM通信并且被配置为监测FEM的运行状况。
[0006]在本技术的一个实施例中，轴引出电极是三轴引出电极。
[0007]在本技术的一个实施例中，FEM呈现圆弧状。
[0008]在本技术的一个实施例中，FEM包括设置在FEM内的第一线圈、第二线圈和霍尔元件，其中第一线圈和第二线圈上下平行布置，霍尔元件探测由第一线圈和第二线圈提供的磁场强度。
[0009]在本技术的一个实施例中，第一线圈提供第一电流I1，第二线圈提供第二电流I2，霍尔元件获得磁场强度B
energy
。
[0010]在本技术的一个实施例中，基于第一电流I1、第二电流I2和磁场强度B
energy
来计算磁场系数k，其中在第一电流I1和第二电流I2相等并且霍尔元件正常的情况下，磁场系数k通过以下公式计算：
[0011][0012]在本技术的一个实施例中，通过磁场系数k来计算FEM正常运行时的系数k
FEM
，其中k
FEM
通过以下公式获得：
[0013]。
[0014]在本技术的一个实施例中，计算装置通过监测系数k
FEM
的数值来判断FEM是否发生异常。
[0015]在本技术的一个实施例中，系统还包括警报器，警报器与计算装置连接。
[0016]在本技术的一个实施例中，当计算装置确定FEM发生异常时通过警报器发出警报。
[0017]通过采用上述技术方案，本技术相比于现有技术具有如下优点：
[0018]本技术可以对在机台运行时的FEM的运行状况进行实时监测，并且在FEM出现偏差或宕机的情形下提前进行预警。
附图说明
[0019]图1示出了用于监测机台的FEM运行状况的系统的示意图。
[0020]附图标记列表
[0021]1源、2气体箱、3三轴引出电极、4质量分析磁体、5加速筒、6FEM(最终能量磁体)、61霍尔元件、62第一线圈、63第二线圈、7处理室、8晶圆盒、9操作者界面。
具体实施方式
[0022]应当理解，在示例性实施例中所示的本技术的实施例仅是说明性的。虽然在本技术中仅对少数实施例进行了详细描述，但本领域技术人员很容易领会在未实质脱离本技术主题的教导情况下，多种修改是可行的。相应地，所有这样的修改都应当被包括在本技术的范围内。在不脱离本技术的主旨的情况下，可以对以下示例性实施例的设计、操作条件和参数等做出其他的替换、修改、变化和删减。
[0023]本技术提供一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质量分析磁体的一端，质量分析磁体的另一端连接至加速筒的一端，加速筒的另一端连接至FEM的一端，FEM的另一端与处理室连通，处理室的外侧设置有操作者界面，处理室连接至晶圆盒，计算装置与FEM通信并且被配置为监测FEM的运行状况。
[0024]在上述系统中，轴引出电极是三轴引出电极。
[0025]在上述系统中，FEM呈现圆弧状。
[0026]在上述系统中，FEM包括设置在FEM内的第一线圈、第二线圈和霍尔元件，其中第一线圈和第二线圈上下平行布置，霍尔元件探测由第一线圈和第二线圈提供的磁场强度。
[0027]在上述系统中，第一线圈提供第一电流I1，第二线圈提供第二电流I2，霍尔元件获得磁场强度B
energy
。
[0028]在上述系统中，基于第一电流I1、第二电流I2和磁场强度B
energy
来计算磁场系数k，其中在第一电流I1和第二电流I2相等并且霍尔元件正常的情况下，磁场系数k通过以下公式计算：
[0029][0030]在上述系统中，通过磁场系数k来计算FEM正常运行时的系数k
FEM
，其中k
FEM
通过以下公式获得：
[0031][0032]在上述系统中，计算装置通过监测系数k
FEM
的数值来判断FEM是否发生异常。
[0033]在上述系统中，系统还包括警报器，警报器与计算装置连接。
[0034]在上述系统中，当计算装置确定FEM发生异常时通过警报器发出警报。
[0035]下面通过具体实施例对本技术提供的系统进行详细地说明。
[0036]如图1所示，一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源1、气体箱2、三轴引出电极3、质量分析磁体4、加速筒5、FEM 6、处理室7、晶圆盒8、操作者界面9和计算装置(未示出)，源1与三轴引出电极3的一侧连通，气体箱2从三轴引出电极3的上端吹入气体，三轴引出电极3的另一侧连接至质量分析磁体4的一端，质量分析磁体4的另一端连接至加速筒5的一端，加速筒5的另一端连接至FEM 6的一端，FEM 6的另一端与处理室7连通，处理室7的外侧设置有操作者界面9，处理室7连接至晶圆盒8，计算装置与FEM 6通信并且被配置为监测FEM 6的运行状况。
[0037]在本实施例中，FEM 6呈现圆弧状。FEM 6包括设置在FEM 6内的第一线圈62、第二线圈63和霍尔元件61，其中第一线圈62和第二线圈63上下平行布置，霍尔元件61探测由第一线圈62和第二线圈63提供的磁场强度。第一线圈提供第一电流I1，第二线圈提供第二电流I2，霍尔元件获得磁场强度B
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，其特征在于，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中所述源与所述轴引出电极的一侧连通，所述气体箱从所述轴引出电极的上端吹入气体，所述轴引出电极的另一侧连接至所述质量分析磁体的一端，所述质量分析磁体的另一端连接至所述加速筒的一端，所述加速筒的另一端连接至所述FEM的一端，所述FEM的另一端与所述处理室连通，所述处理室的外侧设置有所述操作者界面，所述处理室连接至所述晶圆盒，所述计算装置与所述FEM通信并且被配置为监测所述FEM的运行状况。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述轴引出电极是三轴引出电极。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述FEM呈现圆弧状。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述FEM包括设置在所述FEM内的第一线圈、第二线圈和霍尔元件，其中所述第一线圈和所述第二线圈上下平行布置，所述霍尔元件探测由所述第一线圈和所述第二线圈提供的磁场强度。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴敏强，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：