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本发明提供一种正型光刻胶组合物，其是通过在一种有机溶剂（Ｃ）中溶解（Ａ）一种在主链中具有衍生自（甲基）丙烯酸酯的单元的树脂组分，对于该树脂，其在碱中的溶解度在酸的作用下增大，和（Ｂ）一种通过曝光生成酸的酸生成剂组分而形成的，其中树脂组分（Ａ...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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