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本发明提供的曝光装置，能抑制基板台（４）上的配管系统引入部的紊乱，抑制从配管的发尘，以及抑制配管部件表面带静电。本发明的曝光装置中，通过投影光学系统（照明系统单元）（１），把画在原版面上的图形投影到基板上，用台装置（４）使原版和基板双方、或...
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