下载用于制造具有改善刷新时间的半导体装置的方法的技术资料

文档序号:3204938

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本发明涉及一种具有改善刷新时间的半导体装置的制造方法。该方法包含下列步骤:在基板上形成若干闸极线;通过使用闸极线当作遮罩,离子植入第一掺杂物,形成若干原胞接面;沿着闸极线的纵断面,形成缓冲层;通过在有缓冲层的情形下,离子植入第二掺杂物进入基...
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