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一种独石流体喷射装置的制作方法，包括以下步骤：　　　　提供衬底；　　　　形成图案化牺牲层于衬底的第一面上；　　　　形成图案化结构层于衬底上，并覆盖图案化牺牲层；　　　　形成图案化电阻层于结构层上，以形成加热器；　　　　形成图案化隔离层，并覆...
该专利属于明基电通股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明基电通股份有限公司授权不得商用。

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